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| 基片表面生长人造金刚石多晶膜 | |
| 作者姓名： | 窦高荣 |
| 作者单位： | 湛江市化工研究所 |
| 摘 要： | 日本住友电气工业公司试验在硅、铝、钼的表面生长2μ厚多结晶金刚石被膜取得了成功。试验是用高频把甲烷和氢的混合气体等离子化,在700～900℃下基片表面合成生长金刚石被膜。被膜经用电子衍射、红外吸收光谱分析等数种方法测试,根据超高压法,已确认该被膜和金刚石的性质几乎相同。另外,对合成被膜的硬度、耐药性、热传导性也进行了测试,也确认具有金刚石的 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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