| 温度对CVD-TaC涂层组成、形貌与结构的影响 |
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| 引用本文： | 李国栋,熊翔,黄伯云.温度对CVD-TaC涂层组成、形貌与结构的影响[J].中国有色金属学报,2005,15(4):565-571. |
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| 作者姓名： | 李国栋 熊翔 黄伯云 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083;襄樊学院,无机非金属材料室,襄樊,441003
2. 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，湖南省自然科学基金，湖北省教育厅科研项目 |
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| 摘 要： | 利用TaCl5-C3H6-H2-Ar反应体系,用化学气相沉积法(CVD)成功地在C/C复合材料表面沉积TaC涂层及C-TaC复合涂层.研究了温度对TaC涂层的相组成和表面形貌的影响以及CVD-TaC涂层的沉积机理.结果表明:在1373～1673 K温度范围内能够在C/C复合材料表面制备碳化钽涂层,它由TaC和游离碳组成.提高沉积温度和H2/C3H6的流量比,TaC涂层中游离碳的含量减少;随着沉积温度的升高,TaC涂层的颗粒尺寸增大,均匀程度下降;在1 573 K时颗粒间出现明显的烧结界面,结构致密无裂纹.制备出成分波动的C-TaC复合涂层,该涂层与基体间具有良好的机械相容性.分析了低应力、无裂纹TaC复合涂层的形成机制.
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| 关 键 词： | TaC涂层 C-TaC复合涂层 化学气相沉积 相组成 涂层形貌 低应力涂层 |
| 文章编号： | 1004-0609(2005)04-0565-07 |
| 修稿时间： | 2004年8月2日 |
Effect of temperature on composition, surface morphology and microstructure of CVD-TaC coating |
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| LI Guo-dong,XIONG Xiang,HUANG Bai-yun.Effect of temperature on composition, surface morphology and microstructure of CVD-TaC coating[J].The Chinese Journal of Nonferrous Metals,2005,15(4):565-571. |
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| Authors: | LI Guo-dong XIONG Xiang HUANG Bai-yun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TaC coating C-TaC composite coating chemical vapor deposition(CVD) phase composition coating morphology low stress coating |
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