| TiO_2薄膜的Sol－gel制备及结构分析 |
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| 引用本文： | 包定华,顾豪爽,黄桂玉,邝安祥. TiO_2薄膜的Sol－gel制备及结构分析[J]. 功能材料, 1995, 0(6) |
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| 作者姓名： | 包定华 顾豪爽 黄桂玉 邝安祥 |
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| 作者单位： | 湖北大学压电陶瓷技术研究所 |
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| 摘 要： | 以正钛酸丁酯、无水乙醇和冰醋酸为原料，采用Ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺匀胶技术在石英玻璃和单晶硅衬底上成功地制备了ＴｉＯ＿２薄膜，薄膜表面均匀、致密，无裂纹。研究表明，随热处理温度的提高，薄膜经锐钛矿转变为金红石结构，其转变温度因衬底不同而异，但比凝度粉末的转变温度高。金红石结构的ＴｉＯ＿２薄膜具有一定的择优取向性，其品位大小为０．０５～０．１５μｍ．
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| 关 键 词： | TiO＿2薄膜，Sol－gel工艺，制备结构 |
Preparation and Structure Analyses of TiO_2 Thin Films by Sol-gel Process |
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| Bao Dinghua,Gu Haoshuang,Huang Guiyu,Kuang Anxiang. Preparation and Structure Analyses of TiO_2 Thin Films by Sol-gel Process[J]. Journal of Functional Materials, 1995, 0(6) |
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| Authors: | Bao Dinghua Gu Haoshuang Huang Guiyu Kuang Anxiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO_2 thin film sol-gel process preparation structure |
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