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| 检查集成电路缺陷的扫描激光声显微镜 | |
| 作者姓名： | 戎 |
| 摘 要： | 最近,Sonoscope公司研制成一种扫描激光声显微镜(SLAM),它真实地把芯片与基片之间焊接处显示出来。SLAM发送一束高频声波通过电路,让基片、焊剂和芯片内部结构形成声图,然后用He-Ne激光以每秒30次速度探测声图,并显示在荧光屏上进行直接观察。SLAM级是一块10in~2的黑表面。隐藏在级内是LiNbO_3换能器。工作时,在换能器上滴上几滴氟利昂耦合液,然后放上要检测的样品,再在它的顶上滴上几滴耦合液。因为空气 |
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