| 基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备 |
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| 引用本文： | 贺龙,李淑娴,苗斌,李加东,陈颖,苗小浦,吴森.基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备[J].压电与声光,2024,46(3):409-413. |
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| 作者姓名： | 贺龙 李淑娴 苗斌 李加东 陈颖 苗小浦 吴森 |
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| 作者单位： | 大连大学 机械工程学院,辽宁 大连 116622 ；中国科学院 苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室,江苏 苏州 215123 ；中国科学院 多功能材料与轻巧系统重点实验室,江苏 苏州 215123;天津大学 精密仪器与光电子工程学院,天津 300072 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划(2021YFB3201600),国家自然科学基金(面上项目)(62074159),苏州市科技计划项目(SSD2023001) |
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| 摘 要： | 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM 探针针尖有效高度为5.1~5.8 μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM 探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3 μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。
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| 关 键 词： | 关键尺寸原子力显微镜探针 深沟槽 大悬垂侧壁 大高宽比 有效高度 |
| 收稿时间： | 2024/3/12 0:00:00 |
Design and Manufacture of CD-AFM Probe Based on High-Aspect-Ratio Structure |
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| HE Long,LI Shuxian,MIAO Bin,LI Jiadong,CHEN Ying,MIAO Xiaopu,WU Sen.Design and Manufacture of CD-AFM Probe Based on High-Aspect-Ratio Structure[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2024,46(3):409-413. |
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| Authors: | HE Long LI Shuxian MIAO Bin LI Jiadong CHEN Ying MIAO Xiaopu WU Sen |
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