微型机在光学薄膜膜厚监控中的应用

我们在北京仪器厂生产的DMD-450光学多层镀膜机上,配上以APPLE-Ⅱ微型机为核心的膜厚监控系统。本系统采用极值法原理通过检测和控制材料的蒸发速率,有机地使用“比较法”和“微分法”判断镀膜返转点。提高了极值点判断精度。还可控制扫描单色仪,进行波长扫描,显示并绘制相应膜层的光谱曲线,初步实现了光学多层镀膜的自动化,有效地提高了镀膜质量和成品率。