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| 艰苦奋斗,坚持科研方向 奋发图强,走国产化道路 机械电子工业部第四十五研究所专用设备国产化成效显著 | |
| 引用本文： | 吴声满.艰苦奋斗,坚持科研方向 奋发图强,走国产化道路 机械电子工业部第四十五研究所专用设备国产化成效显著[J].电子工业专用设备,1990(4). |
| 作者姓名： | 吴声满 |
| 作者单位： | 机电部第45研究所 |
| 摘 要： | <正> 机电部第45研究所是国内主要从事半导体光学微细加工设备研究与开发的综合性科研机构。六十年代由天津搬迁到甘肃平凉。在三线困难的条件下,为发展我国的半导体专用设备辛勤耕耘,多项科研成果填补了国家的空白。特别是近几年来,在部有关部门的关怀指导下,以改革总揽全局,狠抓了转轨变型工作,变单纯科研型为科研经营型,投身到国民经济建设的主战场;狠抓产品结构的调整,从单一的半导体专用设备的研究转为以半导 |
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