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| 7.5cm 372×276象素a-Si TFT有源矩阵的优化设计及制作工艺研究 | |
| 作者姓名： | 徐重阳 符晖 邹雪城 张少强 袁奇燕 周雪梅 赵伯芳 王长安 |
| 作者单位： | 华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430074，华中理工大学固体电子学系!武汉，430 |
| 摘 要： | 研究了7.5cm372×276象素a－SiTFT有源矩阵的优化设计理论，讨论了材料物理参数和器件结构参数时器件性能的影响，并对其制作工艺进行了系统研究。 |
| 关 键 词： | a－Si TFT有源矩阵 优化设计 制作工艺 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |