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| 高精度双座标液压伺服工作台 | |
| 引用本文： | 强德生.高精度双座标液压伺服工作台[J].机床与液压,1980(6). |
| 作者姓名： | 强德生 |
| 摘 要： | 中国科学院自动化研究所与四机部4504厂共同研制的高精度双座标液压伺服工作台(见图1)经中国计量科学院检定,其性能指标如下:工作台运动距离:100×100毫米工作台运动直度:x轴 0.1微米/90毫米y轴 0.2微米/90毫米工作台运动偏摆:x轴水平面内2.7角秒垂直面内0.6角秒y轴水平面内0.8角秒垂直面内0.8角秒x、y轴的垂直度:1微米/85毫米工作台最大运动速度:15毫米/秒工作台最大加速度:>0.5米/秒~2重复定位精度:±0.2微米 |
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