| 大范围快速AFM的高速高精度控制系统 |
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| 引用本文： | 邓卫梅,薛虹,陈代谢,殷伯华,韩立.大范围快速AFM的高速高精度控制系统[J].仪表技术与传感器,2015(1). |
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| 作者姓名： | 邓卫梅 薛虹 陈代谢 殷伯华 韩立 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电工研究所，北京 100190; 中国科学院大学，北京 100049
2. 中国科学院电工研究所,北京,100190 |
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| 基金项目： | 国家863计划资助项目(2012AA041204)；国家科技支撑计划资助项目(201BAK15B00)。 |
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| 摘 要： | 针对原子力显微镜难以同时实现快速、高精度、大范围扫描成像的不足,逐渐出现了带两级扫描器的原子力显微镜。基于自行研制的大范围快速原子力显微镜(含两级扫描器),为其设计了一种以DSP_FPGA为核心的高速高精度控制系统。包括DSP和FPGA间数据传输模式和相互配置等关键技术的设计,然后嵌入PI控制器,最后用实验验证了控制系统的有效性。
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| 关 键 词： | 原子力显微镜 DSP FPGA FIFO PID 噪声 |
High-speed Hgi h-precis on Con trol System Design for Larger-ange High-speed AFM |
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| DENG Wei-mei,XUE Hong,CHEN Dai-xie,YIN Bo-hua,HAN Li.High-speed Hgi h-precis on Con trol System Design for Larger-ange High-speed AFM[J].Instrument Technique and Sensor,2015(1). |
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| Authors: | DENG Wei-mei XUE Hong CHEN Dai-xie YIN Bo-hua HAN Li |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AFM DSP FPGA FIFO PID noise |
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