| 碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究 |
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| 引用本文： | 吕秀杰,夏需强,唐帅,赵勇,王全全. 碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究[J]. 仪表技术与传感器, 2015, 0(1) |
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| 作者姓名： | 吕秀杰 夏需强 唐帅 赵勇 王全全 |
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| 作者单位： | 中国石油天然气管道工程有限公司东北分公司,辽宁沈阳,110031 |
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| 摘 要： | 针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求,提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布,推导出光纤反射式微机电系统Si C压力传感器的数学模型,并对Si C压力传感器敏感元件的最大量程、灵敏度、输入-输出特性等进行了一系列的优化分析和计算机模拟。仿真结果表明了Si C敏感膜片的光测力灵敏度最优设计方法,在大量程范围内具有优越的线性工作特性,为研发大量程碳化硅基微光机电系统(MOEMS)压力传感器提供了有力的理论依据。
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| 关 键 词： | 碳化硅 微光机电系统 压力传感器 曲率变形 灵敏度 |
Modeling and Simulation of SiC-based MOEM S Prse sure Sensor |
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| LV Xiu-jie,XIA Xu-qiang,TANG Shuai,ZHAO Yong,WANG Quan-quan. Modeling and Simulation of SiC-based MOEM S Prse sure Sensor[J]. Instrument Technique and Sensor, 2015, 0(1) |
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| Authors: | LV Xiu-jie XIA Xu-qiang TANG Shuai ZHAO Yong WANG Quan-quan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon carbide micro-optical-mechanical-electrical system (MOMES) pressure sensor curvature deformation sensi-tivity |
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