| 离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析 |
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| 引用本文： | 潘永强,施洋.离子束辅助沉积TiO2薄膜近红外光学特性分析[J].西安工业大学学报,2009,29(4):307-310. |
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| 作者姓名： | 潘永强 施洋 |
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| 作者单位： | 西安工业大学,光电工程学院,西安,710032 |
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| 摘 要： | 二氧化钛(TiO2)作为一种常用的薄膜材料,对其近红外波段光学特性的研究很少.利用正交试验法,采用椭圆仪对TiO2薄膜近红外波段的光学特性进行了研究.着重研究了薄膜沉积速率、基片烘烤温度和氧气分压等因素对TiO2薄膜近红外波段的折射率和消光系数的影响.实验结果表明,对TiO2薄膜折射率影响最大的两种因素是薄膜沉积速率和烘烤温度.随着沉积速率的增加,薄膜折射率先增加后减小,最佳沉积速率为0.4 nm/s左右;随着基片温度的增加,薄膜折射率从2.15增加到2.23左右;氧气分压也是影响薄膜折射率的主要因素之一,结果表明氧气流量为4.0 sccm(工作真空度1.4×10-2 Pa)时折射率最大.该研究为扩宽TiO2薄膜在近红外波段的应用提供了依据.
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| 关 键 词： | 二氧化钛薄膜 近红外 光学常数 离子束辅助沉积 |
Analysis of Optical Constant in Near Infrared Region of TiO2 Thin Film Deposited by Ion Beam Assisted Deposition |
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