| PIIID技术制备Ti/DLC纳米多层薄膜 |
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| 引用本文： | 解志文,王浪平,王小峰,闫久春,黄磊,陆洋.PIIID技术制备Ti/DLC纳米多层薄膜[J].核技术,2009,32(3). |
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| 作者姓名： | 解志文 王浪平 王小峰 闫久春 黄磊 陆洋 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(50601010,10875033)资助 |
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| 摘 要： | 采用等离子体浸没离子注入与沉积（PIII＆D）技术在2Cr13钢表面制备了Ti／DLC纳米多层薄膜，分析了膜层的微观结构和机械特性。实验结果表明：纳米多层膜具有完整、清晰的调制层结构，薄膜的显微硬度均得到明显的提高，硬度较低的膜层具有较好的膜基结合强度和优良的摩擦性能，从综合性能看：纳米多层薄膜保持了类金刚石（DLC）薄膜低摩擦系数的特性，具有良好的承载能力以及膜-基结合特性。
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| 关 键 词： | 等离子体浸没离子注入与沉积 结合强度 纳米多层薄膜 |
Ti/DLC multilayer synthesized using plasma immersion ion implantation and deposition |
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| XIE Zhiwen WANG Langping WANG Xiaofeng YAN Jiuchun HUANG Lei LU Yang.Ti/DLC multilayer synthesized using plasma immersion ion implantation and deposition[J].Nuclear Techniques,2009,32(3). |
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| Authors: | XIE Zhiwen WANG Langping WANG Xiaofeng YAN Jiuchun HUANG Lei LU Yang |
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| Affiliation: | State key laboratory of advanced welding production Technology;Harbin Institute of Technology;Harbin 150001;China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Plasma immersion ion implantation and deposition Adhesion strength Multilayer |
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