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FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜
引用本文:季旭东. FEA场发射微尖的一些氮化物薄膜[J]. 光电子技术, 1999, 19(3): 207-211
作者姓名:季旭东
作者单位:华东电子管厂!南京,210028
摘    要:一些Ⅲ主族以及过渡金属氮化物具有低逸出功以及稳定场发射的性能,适合于用作FEA发射微尖表面的薄膜。本文对这些氮化物薄膜作了制备与性能方面的介绍。

关 键 词:场致发射阵列 氮化物薄膜 FED器件 显示器件

Some Nitride Films for Emission Tip of FEA
Ji Xudong. Some Nitride Films for Emission Tip of FEA[J]. Optoelectronic Technology, 1999, 19(3): 207-211
Authors:Ji Xudong
Abstract:
Keywords:FEA   film   fabrication   performance   nitride
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