| 莫尔偏转法测量相位物体的灵敏度和分辨率分析 |
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| 引用本文： | 蔡伟建,陈远绳. 莫尔偏转法测量相位物体的灵敏度和分辨率分析[J]. 光学仪器, 1991, 13(5): 11-16 |
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| 作者姓名： | 蔡伟建 陈远绳 |
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| 作者单位： | 浙江省新技术应用研究所，浙江大学 |
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| 摘 要： | 本文分析了利用莫尔偏转法测量相位物体的灵敏度和分辨率,给出了空间分辨率和角分辨率公式,提出了此种方法的极限分辨率和灵敏度。
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| 关 键 词： | 莫尔偏转法 相位 灵敏度 分辨率 |
The Sensitivity and Resolution for Measuring Phase Objects by Moire Deflectometry |
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| Abstract: | In this paper the sensitivity and resolution for measuring phase objects by Moire deflectometry are analysed, the spatial resolution and angular resolution are given and the limits of the sensitivity and resolution are derived. |
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