| 激光干涉仪与纳米精度检测 |
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| 引用本文： | 王向朝. 激光干涉仪与纳米精度检测[J]. 中国计量学院学报, 2001, 12(2): 73-76 |
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| 作者姓名： | 王向朝 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所, |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(69978024)。 |
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| 摘 要： | 文章对光外差、移相、正弦相位调制等几种常见的纳米精度干涉测量技术进行了综述 ,并介绍了上海光机所的相关工作 .
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| 关 键 词： | 干涉仪 半导体激光器 光学检测 纳米测量 |
| 文章编号： | 1004-1540(2001)02-0073-04 |
| 修稿时间： | 2001-06-20 |
Laser Interferometers for Nanometer-accuracy Measurements |
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| WANG Xiang-zhao. Laser Interferometers for Nanometer-accuracy Measurements[J]. Journal of China Jiliang University, 2001, 12(2): 73-76 |
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| Authors: | WANG Xiang-zhao |
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| Abstract: | Nanometer-accuracy interferometric-measurement methods, heterodyne, ph ase-shifting and sinusoidal phase-modulating interferometry, are reviewed. The related reseerch of Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics is introduc ed. |
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| Keywords: | interferometer laser diode optical testing nanometer measurement |
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