新型TiAlN涂层材料工艺与应用研究

运用物理气相沉积工艺在Ｍ２高速钢表面沉积了ＴｉＡｌＮ涂层材料，用ＳＥＭ和ＸＲＤ等方法对涂层组织结构进行分析，并对涂层的性能进行了测试，结果表明，涂层显微硬度和耐磨性随基体温度上升而提高；在一定范围内，涂层显微硬度和耐磨性随氮流量变化而有一最佳值。切削试验表明，涂镀ＴｉＡｌＮ的钻头使用寿命显著提高。