| 采用微机械加工技术的微光学加速度计 |
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| 引用本文： | 郑露滴 A.Asundi N.C.Tien Z.Chen A.Q.Liu. 采用微机械加工技术的微光学加速度计[J]. 仪器仪表学报, 2001, 0(2): 162-164 |
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| 作者姓名： | 郑露滴 A.Asundi N.C.Tien Z.Chen A.Q.Liu |
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| 作者单位： | [1]朗讯贝尔实验室基础科学研究院，北京100080 [2]NanyangTechnologicalUniversity,Singapore [3]CornellUniversity,USA [4]InstituteofMaterialsResearchandEngineering,Singapore |
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| 摘 要： | 表面微机械加工技术是实现单片集成微光学系统的一种新方法。本文介绍一种新型的采用微机械加工技术的微型光学加速度计，包括设计、关键器件的加工和测试，它是基于光线和光闸相互作用引起通光量变化的工作原理。这一微光学加速度计包含一个2μm厚的多晶硅光闸，光闸采用微弹簧支撑在基片上，微弹簧是长度为200／μm的多品硅褶曲梁，硅基片和微结构之间所夹的牺牲层采用氢氟酸湿法刻蚀去除。光闸设计为一个质量弹簧系统，对加速度力产生响应。
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| 关 键 词： | 微光学加速度计 微机械加工 微机电系统 单片集成微光学系统 |
A Micro Optical Accelerometer Fabricated by Micromachining Process |
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| Zheng Ludi A Asundi N C Tien Z Chen A Q Liu. A Micro Optical Accelerometer Fabricated by Micromachining Process[J]. Chinese Journal of Scientific Instrument, 2001, 0(2): 162-164 |
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| Authors: | Zheng Ludi A Asundi N C Tien Z Chen A Q Liu |
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| Affiliation: | Zheng Ludi 1 A Asundi 2 N C Tien 3 Z Chen 4 A Q Liu 4 1 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Optical accelerometer Micromachining MEMS |
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