| 基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜 |
| |
| 引用本文： | 余洪斌,陈海清,竺子民,张大成,李婷. 基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜[J]. 半导体学报, 2004, 25(9): 1154-1158 |
| |
| 作者姓名： | 余洪斌 陈海清 竺子民 张大成 李婷 |
| |
| 作者单位： | 华中科技大学光电子工程系 武汉430074(余洪斌，陈海清，竺子民)，北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京100871(张大成)，北京大学微电子学研究所微米/纳米加工技术国家重点实验室 北京100871(李婷) |
| |
| 摘 要： | 给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法,并且通过工艺流片制造出有效反射面积为30 m m×30 mm,拥有4 9个静电驱动单元的可变形反射镜.测试得到的镜面变形-电压数据显示其与模拟结果具有很好的一致性.
|
| 关 键 词： | 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)09-1154-05 |
| 修稿时间： | 2003-10-19 |
A Novel Deformable Mirror Based on MEMS Technology |
| |
| Yu Hongbin,Chen Haiqing,Zhu Zimin,Zhang Dacheng and Li Ting. A Novel Deformable Mirror Based on MEMS Technology[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(9): 1154-1158 |
| |
| Authors: | Yu Hongbin Chen Haiqing Zhu Zimin Zhang Dacheng Li Ting |
| |
| Affiliation: | Yu Hongbin1,Chen Haiqing1,Zhu Zimin1,Zhang Dacheng2 and Li Ting2 |
| |
| Abstract: | The design and fabrication of novel deformable mirror based on silicon micromach ining technology is presented.A deformable mirror with 900 square of millimeters effective reflecting surface and 49 electrostatic actuator s is fabricated successfully.The measured results show that the relationship be tween the deflection of the mirror and the voltage applied agrees well with the simulation result. |
| |
| Keywords: | deformable mirror bulk micromachining electrostatic actuating resonant frequency |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
