NOVELLUS推出两款先进表面处理设备

Novellus系统有限公司推出两种300mm硅片制造表面处理设备:GAMMA2130光刻胶清除系统和SIERRA高级干洗系统。与目前市场上同类产品相比,这两种新设备将显著降低设备的拥有成本、提高生产能力和可靠性,加工规格可满足65mm工艺产品的生产。 目前,300mm硅片制造过程中,30道工艺步骤中需要清除光刻胶和残留物。其中,大约一半步骤为前道工序。在剩余的后道工序中,越来越多地采用铜双蚀刻技术以提高互连质量。由于如此多的工艺步骤需要进行表面处理,因此所需的加工设备必须具有很低的拥有成本、相当高的加工能力和可靠性。同时,还应满足生产几代元件产品的需要。