| 半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究* |
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| 引用本文： | 付虎,伍乃骐,乔岩. 半导体制造中具有重入加工工艺的双臂组合设备的调度研究*[J]. 机电工程技术, 2013, 0(9) |
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| 作者姓名： | 付虎 伍乃骐 乔岩 |
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| 作者单位： | 广东工业大学机电工程学院,广东广州,510006 |
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| 摘 要： | 解决带重入加工工艺的双臂组合设备的调度问题是非常困难的。如果采用交换策略调度该系统，系统将处于一个3-晶圆周期性调度过程。为改善系统的运行过程及降低生产周期，给出了基于2-晶圆周期性调度方法的调度算法。该算法由解析表达式组成。因此执行非常有效。通过对比3-晶圆和2-晶圆调度方法，可有效的判断两种调度方法的优劣。最后，实例验证该方法的可应用性。
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| 关 键 词： | 半导体制造 组合设备 Petri网 调度 |
Scheduling Analysis of Dual-Arm Cluster Tools with Wafer Revisiting in Semiconductor Manufacturing |
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| FU Hu , WU Nai-qi , QIAO Yan. Scheduling Analysis of Dual-Arm Cluster Tools with Wafer Revisiting in Semiconductor Manufacturing[J]. Mechanical & Electrical Engineering Technology, 2013, 0(9) |
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| Authors: | FU Hu WU Nai-qi QIAO Yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | semiconductor manufacturing cluster tools Petri net scheduling |
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