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MEMS麦克风带来超清晰录音功能
引用本文:王颖.MEMS麦克风带来超清晰录音功能[J].中国电子商情,2008(12).
作者姓名:王颖
作者单位:《中国电子商情:基础电子》记者
摘    要:微机电系统(MEMS)是一种通过以硅为原材料的、将微电子和微机械技术集于一体的微细加工技术,实现各种机械元件、传感器、触动器和电子电路在硅片上的集成。

关 键 词:录音功能  MEMS  麦克风  微机电系统  加工技术  机械技术  机械元件
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