| 溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响 |
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| 引用本文： | 同帜,邹力,崔双科,李大川.溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响[J].粉末冶金材料科学与工程,2012(6):818-824. |
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| 作者姓名： | 同帜 邹力 崔双科 李大川 |
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| 作者单位： | 西安工程大学环境与化学工程学院;陕西省现代建筑设计研究院 |
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| 基金项目： | 陕西省科技厅工业攻关项目(2009K06-27) |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2复合薄膜,研究溶胶成分、水解反应温度、热处理环境及烧结温度对薄膜质量的影响。通过黏度测试、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对样品进行表征。结果表明,溶胶的组成与热处理过程中的应力不均是导致薄膜开裂的主要原因。当Al2O3:SiO2(mol/mol)=1:3或1:2,水解反应温度为40℃,热处理环境湿度70%,温度60℃,以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2 h,缓慢升温且适当保温,可得完好的Al2O3-SiO2复合薄膜,所制备的块状薄膜,无裂缝且均匀透明。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 Al2O3-SiO2复合薄膜 防开裂 |
Influence of Sol-Gel process parameter on quality of Al2O3-SiO2 films |
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| TONG Zhi,ZOU Li,CUI Shuang-ke,LI Da-chuan.Influence of Sol-Gel process parameter on quality of Al2O3-SiO2 films[J].materials science and engineering of powder metallurgy,2012(6):818-824. |
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| Authors: | TONG Zhi ZOU Li CUI Shuang-ke LI Da-chuan |
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| Affiliation: | 1.School of Environmental and Chemical Engineering,Xi’an Polytechnic University,Xi’an 710048,China; 2.Shanxi Modern Architecture Design and Research Institute,Xi’an 710048,China) |
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