| 退火温度对BaTiO_3薄膜的结构和介电性能的影响 |
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| 引用本文： | 郑新芳,李俊峰.退火温度对BaTiO_3薄膜的结构和介电性能的影响[J].化工时刊,2008,22(2):27-30. |
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| 作者姓名： | 郑新芳 李俊峰 |
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| 作者单位： | [1]河北师范大学化学与材料科学学院,河北石家庄 050061 [2]邯郸学院物理与电子工程系,河北邯郸 056005 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶法制备Si（100）基片上的BaTi03陶瓷薄膜，并用红外光谱（IR）、x射线衍射（XRD）、扫描探针（SPM）等技术分析了钛酸钡凝胶的热解过程，以及不同退火温度下薄膜的晶粒、晶相、表面形貌、介电性能等指标。实验结果表明：高温有利于钛酸钡由立方相向四方相的转化；温度升高到1023K时，钛酸钡薄膜的表面形貌平整、均匀并具有良好的介电性能。
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| 关 键 词： | 钛酸钡薄膜 温度 溶胶-凝胶法 介电性 |
| 收稿时间： | 2007-12-07 |
| 修稿时间： | 2007年12月7日 |
Effect of Anneal Temperature on Structure and Dielectric Property of BaTiO3 Thin Films |
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| Affiliation: | Zheng Xinfang Li Junfeng^＊(Hebei Normal University College of Chemistry ＆ Material Science, Hebei Shijiazhuang 050061; Handan College College of Physics＆Electronic Engineering, Hebei Handan 056005) |
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| Abstract: | BaTiO3 thin films were prepared on Silicon（100） Substrate using sol-gel method. The pyrogenation of BaTiO3 gel and crystal grain, crystal character, surface appearance, dielectric property of the thin films at different anneal temperature were analyzed by IR, XRD and SPM technology. The result showed that high temperature was propitious to phase transaction of BaTiO3 form cube to square and when temperature rised to 1023 K, surface appearance of BaTiO3 thin films were smooth and even, and with well dielectric property. |
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| Keywords: | BaTiO3 thin films temperature so-gel method dielectric property |
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