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| 适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定＊ | |
| 引用本文： | 蒋凯 叶树明 陈杭 吕荣坤 周怀阳. 适用于极端环境的高精度压力传感器开发与标定＊[J]. 传感技术学报, 2007, 20(10): 2230-2233 |
| 作者姓名： | 蒋凯 叶树明 陈杭 吕荣坤 周怀阳 |
| 作者单位： | 1. 浙江大学生物医学工程与仪器科学学院,杭州,310027 2. 浙江大学力学实验教学中心,杭州,310027 3. 中科院广州地球化学研究所,广州,510640 |
| 基金项目： | 国家海底区域研究开发攻关资助项目，国家自然科学基金仪器专项资助 |
| 摘 要： | 设计一种可应用于高温高压、强腐蚀性环境的压力检测传感器,以满足极端环境科学研究的需求.利用可耐高温高压、抗腐蚀、具有高屈服强度的钛金属作为传感器材料,采用组合式结构和特殊的圆膜片贴片与组桥技术,开发了适合于极端环境工作的钛压力传感器,并应用多维线性插值算法对传感器进行标定,以提高检测精度.实验检测结果表明,钛压力传感器在60MPa、400℃环境下的酸性或碱性溶液中都能正常工作,检测精度可以达到±0.2﹪FS以内,满足极端环境高精度压力检测需求. |
| 关 键 词： | 压力传感器 极端环境 钛金属 标定 |
| 文章编号： | 1004-1699(2007)10-2230-04 |
| 修稿时间： | 2007-03-25 |
Developing and Calibrating of the High Precision Pressure Sensor Applied in Extreme Environment |
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| Jiang Kai Ye Shu-ming Chen Hang Lv Rong-kun Zhou Huai-yang. Developing and Calibrating of the High Precision Pressure Sensor Applied in Extreme Environment[J]. Journal of Transduction Technology, 2007, 20(10): 2230-2233 | |
| Authors: | Jiang Kai Ye Shu-ming Chen Hang Lv Rong-kun Zhou Huai-yang |
| Affiliation: | 1 College of biomedical engineering & instrument science,ZheJiang University2 Experiment research center of mechanics, ZheJiang University3. Institue of Geochemistry, Chinese Academy of Sciences |
| Abstract: | |
| Keywords: | pressure sensor extreme environment titanium calibration |
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