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| 通过Al_2Cl_ 3与NH_3的气相反应合成AlN微细粉末 | |
| 作者姓名： | 张肇富 |
| 摘 要： | 前言AlN 烧结体由于具有优越的耐侵蚀性,耐热性,高的热传导性和电绝缘性,因此在半导体放热基板和化合物半导体制造用的坩埚方面得到实用。AlN 粉末的制造方法,从前通过金属铝(Al)的直接氮 |
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