|
|||||
|
|
| 薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究 | |
| 引用本文： | 吴勇,庄奕琪,杜磊,魏文彦.薄膜电阻器件的低频噪声测试方法研究[J].混合微电子技术,2006,17(2):54-58. |
| 作者姓名： | 吴勇 庄奕琪 杜磊 魏文彦 |
| 作者单位： | [1]西安电子科技大学微电子学院,西安710071 [2]西安电子科技大学技术物理学院,西安710071 [3]中国航天时代电子公司第771研究所,西安710054 |
| 摘 要： | 薄膜电阻器件的低频有色噪声是器件内部微观结构影响的缩影，承载了大量的与器件结构和工艺水平相关的信息，往往能够反映器件的内在质量和可靠性的优劣。本文给出了薄膜电阻器件低频噪声测试的一般方法并探讨了样品在低阻和裸片情况下进行低频噪声信号测试应采用的技巧和注意事项，还讨论了探针接触噪声对测试结果的影响，对正确的噪声信号采集和器件可靠性评估有重要意义。 |
| 关 键 词： | 薄膜电阻 低频噪声 噪声测量 阻抗匹配 可靠性 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |