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| 扫描电镜故障检修二例 | |
| 作者姓名： | 梁显鉴 |
| 作者单位： | 华南师范大学实验中心!广州市510631 |
| 摘 要： | 我们使用的是ＫＹＫＹ－１０００Ｂ型扫描电镜。这是中国科学院北京科学仪器研制中心引进美国ＡＭＲＡＹ－１０００Ｂ扫描电镜技术而制造的。本文介绍对该电镜所作的两例故障的检修。１真空系统自动控制故障的检修 故障现象：用自动真空方式开机。当阀门Ｖ２开启、扩散泵开启，经低真空预抽后，关闭准备开关（ＳＴＡＮＤ ＢＹ）时，阀门Ｖ２不能自动关闭，自动程序就此中断。 分析检查：阀门Ｖ２不能自动关闭，就其本身来说，可能是其机械方面故障，也可能是其控制电路故障。但是，在该电镜的真空自动控制电路中，把阀门Ｖ２阀门Ｖ３设计为… |
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