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| AM混合相Si：P：H膜 | |
| 作者姓名： | 刘明 汪树成 |
| 作者单位： | 烟台师范学院(刘明)，合肥工业大学(汪树成) |
| 摘 要： | 本文介绍采用辉光放电法分解SiH_4+Ar+PH_3的混合气体淀积掺磷氢化非晶硅膜,即a-Si:P:H.再使其结晶化,得到非晶-微晶混合相结构的Si:P:H膜,即AK-Si:P:H.对膜的结构和性质作了探讨和分析.结果表明,AM-Si:P:H合金膜结构均匀、致密,对可见光及近红外有良好光吸收.退火温度达到500℃以上时,AM-Si:P:H膜的电导特性有一大的突破.S-W效应明显减小,是p-i-n太阳能电池所希望的n~+型材料. |
| 关 键 词： | AM－Si：P：H 薄膜 辉光放电法 |
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