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| 热处理对NdFeB薄膜微结构和磁性能的影响 | |
| 作者姓名： | 张丽娜 张敏刚 杨扬 刘小鹏 衣美卿 |
| 作者单位： | 太原科技大学,材料科学与工程学院,山西太原030024 |
| 摘 要： | 采用磁控和离子束联合溅射法制备了NdFeB/α-Fe/NdFeB系列纳米复合多层膜,研究了热处理温度对薄膜结构、表面形貌和磁性能的影响. |
| 关 键 词： | 磁控溅射 离子束溅射 多层膜 热处理 磁性能 热处理 薄膜微结构 磁性能 影响 Magnetic Properties Microstructure Annealing Post Effect 表面形貌 薄膜结构 处理温度 研究 纳米复合多层膜 法制 离子束 磁控 |
| 文章编号： | 1672-6413（2008）01-0122-03 |
| 收稿时间： | 2007-04-24 |
| 修稿时间： | 2007-09-08 |
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