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| 产业新闻 | |
| 摘 要： | 正睿励科学仪器在SEMICON China2012上推出TFX3000全自动300 mm精密薄膜线宽测量系统睿励科学仪器(上海)有限公司在SEMICONChina 2012期间推出其自主研发的适用于65 nm和45 nm技术节点的全自动300 mm精密薄膜线宽测量设备(TFX3000)。该设备适用于先进半导体生产工 |
| 关 键 词： | 测量系统 射电望远镜阵 科学仪器 全自动 解决方案 适用于 薄膜 半导体 测量设备 线宽 |
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