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微细中空电极流速测试及侧壁绝缘层制备工艺比较
作者姓名:温杰超  孔全存  李勇  钟浩  刘桂礼
作者单位:北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京,100192;北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院,北京 100192;清华大学机械工程系,北京 100084;北京信息科技大学精密测量技术与仪器研究所,北京 100192;清华大学机械工程系,北京,100084
基金项目:国家自然科学基金;国家自然科学基金;北京市自然科学基金;北京市教委科技发展计划面上项目
摘    要:

关 键 词:微细电解加工  中空电极  流速测试  侧壁绝缘  电泳
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