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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
m面AlN单晶自发成核生长表征
作者姓名:
程红娟
金雷
史月增
赵堃
张丽
齐海涛
赖占平
作者单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;深圳大学光电工程学院,广东深圳,518060
基金项目:
国家重点研发计划;国家自然科学基金;天津市资助基金项目
摘 要:
关 键 词:
物理气相传输(PVT)
表面形貌
台阶流
AlN晶体
自发成核
本文献已被
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