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m面AlN单晶自发成核生长表征
作者姓名:程红娟  金雷  史月增  赵堃  张丽  齐海涛  赖占平
作者单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;深圳大学光电工程学院,广东深圳,518060
基金项目:国家重点研发计划;国家自然科学基金;天津市资助基金项目
摘    要:

关 键 词:物理气相传输(PVT)  表面形貌  台阶流  AlN晶体  自发成核
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