化学法制备超细玻璃粉及其在LTCC用厚膜电阻浆料中的应用(英文) |
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作者姓名: | 罗慧 李世鸿 刘继松 陈立桥 魏丽红 王珂 梁云 吕刚 |
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作者单位: | 贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室; |
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基金项目: | Projects in the National Science & Technology Pillar Program (NO.2012BAE06B00 and 2013-02-02-A-G-02-3040) |
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摘 要: | 用正硅酸乙酯、硝酸铝、硝酸钙、硝酸镁经化学反应,添加燃烧剂烧结后研磨制成了超细玻璃粉原料;用水合三氯化钌高温脱水法制备了氧化钌粉原料;采用低温共烧(LTCC)制成了混有这两种原料的钌厚膜电阻。采用差热分析仪、激光粒度仪和扫描电子显微镜进行了分析表征。结果表明,制备的电阻浆料与LTCC生瓷烧结性能相匹配,稳定性好,温度系数在±200×10-6/℃以内,制备的电阻器平均方阻为88.5Ω/□。
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关 键 词: | 复合材料 超细玻璃粉 钌 厚膜电阻浆料 LTCC |
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