| 空心阴极放电制备金刚石薄膜及其性能研究 |
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| 引用本文： | 边心超,张跃飞,霍纯青,陈强.空心阴极放电制备金刚石薄膜及其性能研究[J].新技术新工艺,2007(11):67-69. |
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| 作者姓名： | 边心超 张跃飞 霍纯青 陈强 |
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| 作者单位： | 北京印刷学院,等离子体物理与材料研究室,北京,102600 |
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| 摘 要： | 以石墨为电极，Ar气为辅助气体，利用空心阴极等离子体放电在载玻片上成功地制备了无氢类金刚石（DLC，diamond-likecarbon）薄膜。通过激光拉曼（Raman）光谱分析了所制备DLC薄膜的结构；利用扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）分析了薄膜的表面形貌；通过表面轮廓仪测量了薄膜的沉积速率；另外，试验中还利用摩擦磨损仪对薄膜的机械性能进行了研究。试验结果表明，制备的DLC薄膜比较致密均匀，粗糙度为8．1nm，有较好的耐磨性能。
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| 关 键 词： | 石墨 空心阴极等离子体放电 无氢DLC薄膜 |
| 收稿时间： | 2007-05-10 |
| 修稿时间： | 2007年5月10日 |
Preparation of Hydrogen-free Diamond-like Carbon Film by Hollow-cathode Discharge and Investigation on Its Tribology performance |
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| BIAN Xinchao,ZHANG Yuefei,HUO Chunqing,CHEN Qiang.Preparation of Hydrogen-free Diamond-like Carbon Film by Hollow-cathode Discharge and Investigation on Its Tribology performance[J].New Technology & New Process,2007(11):67-69. |
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| Authors: | BIAN Xinchao ZHANG Yuefei HUO Chunqing CHEN Qiang |
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