大面积FTO透明导电薄膜制备技术研究进展

掺氟氧化锡透明导电(FTO)薄膜由于性价比优势,已成为薄膜太阳电池的重要原材料,但其导电性能不佳导致商用大面积薄膜太阳电池光电转换效率只有实验室小面积薄膜太阳电池效率的40%~60%,提高大面积FTO薄膜的导电性能和降低生产成本成为其广泛应用的关键。介绍了化学气相沉积法、喷雾热分解法、磁控溅射法和溶胶-凝胶法制备FTO薄膜的工艺和技术进展。对改进大面积FTO薄膜导电性能的新途径和国内外研究进展做了综述。建议重点研究锑磷掺杂FTO薄膜制备技术和重点研究纳米银复合FTO薄膜制备技术,以克服FTO薄膜电阻较大的缺陷,同时保持导电薄膜良好透光性能。