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| 纳米WO_3薄膜的光学性质及氢敏特性研究 | |
| 引用本文： | 杨晓红,王新强,唐一科,马勇.纳米WO_3薄膜的光学性质及氢敏特性研究[J].传感器与微系统,2006,25(11):12-14. |
| 作者姓名： | 杨晓红 王新强 唐一科 马勇 |
| 作者单位： | 1. 重庆大学,应用物理系,重庆,400044;重庆师范大学,物理学与信息技术学院,重庆,400047 2. 重庆大学,应用物理系,重庆,400044 3. 重庆大学,机械工程学院,重庆,400044 4. 重庆师范大学,物理学与信息技术学院,重庆,400047 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 , 中国物理研究院科研项目 , 重庆市教委资助项目 |
| 摘 要： | 采用磁控直流溅射法制备出纳米WO3薄膜,在N2气中进行退火处理。采用分光光度计、XRD等对退火前后的WO3薄膜进行了光学特性的分析。研究表明:在623 K进行退火处理的薄膜均匀、致密,呈现出较好的结晶态。采用光源激发对纯WO3薄膜在不同温度条件下的氢敏特性进行了研究,实验显示:WO3薄膜对H2的敏感性与温度有关,在348 K温度条件下,WO3薄膜的氢敏效应最好。 |
| 关 键 词： | 直流磁控溅射 WO_3薄膜 退火 光学性质 氢敏效应 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）11-0012-03 |
| 收稿时间： | 2006-05-23 |
| 修稿时间： | 2006年5月23日 |
Study on optical and hydrogen sensing properties of nanocrystalline WO3 films |
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| YANG Xiao-hong,WANG Xin-qiang,TANG Yi-ke,MA Yong.Study on optical and hydrogen sensing properties of nanocrystalline WO3 films[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(11):12-14. | |
| Authors: | YANG Xiao-hong WANG Xin-qiang TANG Yi-ke MA Yong |
| Abstract: | Nanocrystalline WO3 films are prepared by DC magnetron sputtering technique, and then annealed in N2 at different temperature. The structure and optical properties of the WO3 films are studied by XRD and speetrophotometer. The experimental results show that the films exhibit better erystallinity with the annealing temperatures higher than 623 K, and crystalline WO3 films show better optical property. The sensing properties of the WO3 films to hydrogen gas are studied at different working temperatures. It is found that the sensitivity of pure WO3 sensors is dependent on working temperature and the films response gets the greatest at 348 K. |
| Keywords: | DC magnetron sputtering WO3 films anneal optical properties hydrogen sensing |
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