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| 离子注入型蓝光灵敏的光电探测器 | |
| 引用本文： | 孙宝寅,刘玉兰,李文年,江剑平,王振明.离子注入型蓝光灵敏的光电探测器[J].半导体学报,1985,6(4):406-412. |
| 作者姓名： | 孙宝寅 刘玉兰 李文年 江剑平 王振明 |
| 作者单位： | 清华大学无线电电子学系 (孙宝寅，刘玉兰，李文年，江剑平)，机械工业部机械工业自动化研究所(王振明) |
| 摘 要： | 报道了离子注入CW CO_2 激光退火硅光电二极管的结果.激光退火工艺与热退火工艺进行了比较,表明这种器件具有峰值响应波长短、蓝光灵敏度高等优点.在波长为4000A时量子效率达0.64.通过测量结深、杂质浓度分布及缺陷的观测,解释了CW CO_2激光退火工艺优于热退火工艺的原因. |
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