| 电容式微加速度计模拟前端接口电路设计 |
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| 引用本文： | 陆游,陈瑞,郎伟,万培元,林平分.电容式微加速度计模拟前端接口电路设计[J].中国集成电路,2013,22(7):23-26. |
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| 作者姓名： | 陆游 陈瑞 郎伟 万培元 林平分 |
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| 作者单位： | 北京市嵌入式系统重点实验室,北京,100124 |
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| 摘 要： | 基于连续时问的全差分电容结构，设计了一款电容式微加速度计模拟前端接口电路。该电路采用了斩波稳定技术，减小了运算放大器的直流偏差和闪烁噪声，同时，引入了一种周期复位的方法来稳定电压电容转换器输入端口求和节点的直流偏置，并实现了灵敏度可调的功能。该设计在TSMC0．35Hm工艺下流片，面积为3．4mm2。测试结果表明，在5V供电电压下，电路非线性度小于O．7％，功耗约9．4mW。
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| 关 键 词： | 电容式微加速度计 接口电路 斩波稳定技术 周期复位 |
An Analog Front-end Interface Circuit for Capacitive MEMS Accelerometer |
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| LU You
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CHEN Rui
,
LANG Wei
,
WAN Pei-yuan
,
LIN Ping-fen.An Analog Front-end Interface Circuit for Capacitive MEMS Accelerometer[J].China Integrated Circuit,2013,22(7):23-26. |
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| Authors: | LU You CHEN Rui LANG Wei WAN Pei-yuan LIN Ping-fen |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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