| 硬质薄膜材料的最新发展及应用 |
| |
| 引用本文： | 吴大维.硬质薄膜材料的最新发展及应用[J].真空,2003(6):1-5. |
| |
| 作者姓名： | 吴大维 |
| |
| 作者单位： | 武汉大学弘毅新材料有限公司,湖北,武汉,430223 |
| |
| 摘 要： | 综述了硬质薄膜材料的最新研究状况。硬质薄膜的设计向着多元化、多层膜的方向发展。本征超硬薄膜材料，如：金刚石、C—BN、B4C、TiB2、BC4N等的硬度可以达到50～80GPa。纳米超晶格薄膜和纳米晶复合膜两类新的超硬薄膜的硬度分别随超晶格的调制周期减小，纳米晶晶粒尺寸减小而增加，它们的硬度都能达到40～70GPa。最高硬度的薄膜材料nc—TiN／a—Si3N4采用PCVD方法制备，加载30mN测得塑性硬度(Plastic hardness)H=110GPa；加载70mN，H=80GPa。本综述对硬质薄膜的应用前景做了展望。
|
| 关 键 词： | 硬质薄膜材料 塑性硬度 物理气相沉积 化学气相沉积 PVD CVD |
| 文章编号： | 1002-0322(2003)06-0001-05 |
| 修稿时间： | 2003年9月12日 |
Recent development and application of hard thin films |
| |
| WU Dawei.Recent development and application of hard thin films[J].Vacuum,2003(6):1-5. |
| |
| Authors: | WU Dawei |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | thin film material superhard multiplayer films nanosuperlattice films nanocrystalline compolexfilms |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
