| 有限元法计算膜厚均匀性收 |
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| 引用本文： | 阴晓俊,费书国,章月州,孔志坤.有限元法计算膜厚均匀性收[J].光学仪器,2001,23(6):5-10. |
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| 作者姓名： | 阴晓俊 费书国 章月州 孔志坤 |
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| 作者单位： | 沈阳仪器仪表工艺研究所,辽宁沈阳,110043 |
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| 摘 要： | 利用有限元法模拟计算了旋转平面夹具、旋转球面夹具、行星旋转球面夹具的膜厚均匀性,分析了均匀性的影响因素,指出了工艺中的调整方法.
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| 关 键 词： | 膜厚均匀性 发射特性 蒸发源的旋转与倾斜 |
Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method |
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| YIN Xiao-jun,FEI Shu-guo,ZHANG Yue-zhou,KONG Zhi-kun.Simulating uniformity of film thickness with finite-cells method[J].Optical Instruments,2001,23(6):5-10. |
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| Authors: | YIN Xiao-jun FEI Shu-guo ZHANG Yue-zhou KONG Zhi-kun |
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