| 隧道加速度计的发展概况 |
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| 引用本文： | 史建伟 陈德英. 隧道加速度计的发展概况[J]. 电子器件, 1999, 22(3): 188-193 |
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| 作者姓名： | 史建伟 陈德英 |
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| 作者单位： | 东南大学微电子中心!南京210096 |
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| 摘 要： | 利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理，特点及发展趋势。
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| 关 键 词： | 微加速度计 微机械加工 隧道加速度计 传感器 |
Review of The Tunneling Accelerometer |
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| SHI Jian Wei CHEN De ying. Review of The Tunneling Accelerometer[J]. Journal of Electron Devices, 1999, 22(3): 188-193 |
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| Authors: | SHI Jian Wei CHEN De ying |
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| Abstract: | New high sensitivity micro accelerometers have been developed based on the extreme sensitivity of electron tunneling. The paper reviews the principles, characteristics. And then the development trends are introduced. |
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| Keywords: | micro accelerometer micro machined |
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