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金刚石薄膜与基材之间过渡层技术的研究
作者姓名:
苏革 闻立时
摘 要:
通过TEM观察发现在金刚石膜与单晶硅片,金刚石膜与AlN陶瓷之间存在一层过渡层,过渡层的存在为金刚石的形核及生长提供了有利的条件,受此启发,为了改善金刚民基材的结合强度,采用磁控溅射,空心离子镀,真空蒸镀等方法在Mo片上沉积TiC,TiCN(C/N=1/2)TiCN(C/N=1/10)等薄膜,研究了它们对金刚石膜与基材的结合强度的影响。
关 键 词:
金刚石 薄膜 过渡层 结合强度 基材
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