| （CH3）2SiCl2和N2H4反应产物裂解逸出气体与粉体组成关系的研究 |
| |
| 引用本文： | 盘毅,谢凯.（CH3）2SiCl2和N2H4反应产物裂解逸出气体与粉体组成关系的研究[J].材料科学与工艺,1998,6(4):72-76. |
| |
| 作者姓名： | 盘毅 谢凯 |
| |
| 作者单位： | 国防科技大学材料工程与应用化学系!湖南，长沙410073，国防科技大学材料工程与应用化学系，国防科技大学材料工程与应用化学系，国防科技大学材料工程与应用化学系 |
| |
| 摘 要： | 采用（ＣＨ３）２ＳｉＣｌ２和Ｎ２Ｈ４反应产物为先驱体，在Ｈ２，ＮＨ３气条件下，用ＣＶＤ法制备Ｓｉ／Ｃ／Ｎ的纳米微粉，在制备Ｓｉ／Ｃ／Ｎ纳米微粉的过程中通过高温炉－气相色谱联用技术分析了裂解逸出的气体，用化学法分析了微粉中元素组成变化，讨论了先驱体Ｈ２，ＮＨ３气体条件下的裂解机理及微粉的形成机理。
|
| 关 键 词： | 裂解 气相色谱 肼 二氯二甲基硅烷 硅／碳 微粉 |
Study on Pyrolysis Gas and Powder From Reaction Product Between (CH_3)_2SiCl_2 and N_2H_4 by Py/GC |
| |
| Pan Yi, Xe kai, Chen Yimin, Ou Yanghui.Study on Pyrolysis Gas and Powder From Reaction Product Between (CH_3)_2SiCl_2 and N_2H_4 by Py/GC[J].Materials Science and Technology,1998,6(4):72-76. |
| |
| Authors: | Pan Yi Xe kai Chen Yimin Ou Yanghui |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | pyrolysis gas chromatography hydrazine dimethyldichlorsilanes |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
