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微机械光学器件
摘 要:
微机械光学器件是利用MEMS技术制作的光学元件及器件,目前制备出的微光学器件主要有微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等。
关 键 词:
微光学器件 微机械 外腔激光器 光学元件 技术制作 MEMS 变焦透镜 光编码器 扫描器 斩光器
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