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太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究
引用本文:翟荣锭,吴倩楠,王俊强,苏宁宁,李孟委. 太赫兹石墨烯贴片式高温传感器的设计与研究[J]. 电子测量技术, 2023, 0(3): 6-11
作者姓名:翟荣锭  吴倩楠  王俊强  苏宁宁  李孟委
作者单位:1. 中北大学前沿交叉科学研究院;2. 中北大学半导体与物理学院;3. 中北大学微系统集成研究中心;4. 中北大学理学院
基金项目:装备发展部预研项目;;山西省研究生教育改革研究课题(11012133)项目资助;
摘    要:设计了一种太赫兹石墨烯贴片式高温传感器,可解决现有温度传感器测温量程小、尺寸较大和灵敏度较低的问题。该传感器由六边形石墨烯薄膜、氧化铝衬底和金三层结构组成。通过优化石墨烯结构尺寸、氧化铝衬底厚度,得到大量程、高灵敏度的太赫兹MEMS高温传感器的特征尺寸。结果表明:该温度传感器在3.0~5.0 THz频段内,测温范围可从25℃~1 050℃,灵敏度为0.259 GHz/℃,整体体积为20μm×21μm×14.5μm。该传感器具有优异的传感性能和较大的测温量程,可为高温环境下的航空发动机、火箭发射系统、恶劣环境监测等系统的测温提供一种技术方法。

关 键 词:石墨烯  氧化铝薄膜  温度传感  太赫兹

Design and research of terahertz graphene patch type high temperature sensor
Zhai Rongding,Wu Qiannan,Wu Qiannan,Su Ningning,Li Mengwei. Design and research of terahertz graphene patch type high temperature sensor[J]. Electronic Measurement Technology, 2023, 0(3): 6-11
Authors:Zhai Rongding  Wu Qiannan  Wu Qiannan  Su Ningning  Li Mengwei
Abstract:
Keywords:
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