一种保持真空真空度稳定的控制系统

本项工作是配套“８６３”项目金刚石镀膜装置而进行的。由于沉积金刚石膜的时间长达几十个而真空室真空度的稳定性对成膜质量的好坏有很大的影响，所以保持真空度的稳定将成为一个关键性的技术问题。本文简要地介绍了利用单片机实现真空度稳定控制的工作原理，阐述了软，硬件的具体实现方法。