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| CdTe和HgCdTe薄膜的有机金属汽相淀积 | |
| 引用本文： | W.E.Hoke,刘昭华.CdTe和HgCdTe薄膜的有机金属汽相淀积[J].激光与红外,1984(8). |
| 作者姓名： | W.E.Hoke 刘昭华 |
| 摘 要： | 用有机金属试剂在〈111〉A衬底上生长了CdTe和HgCdTe外延膜。在370和410℃试验衬底温度下生长了镜面状CdTe膜。在400-410℃的衬底温度下取得了x≥0.15的镜面状Hg_(1-x)Cd_XTe膜。HgCdTe的生长率,Hg_(0.8)Cd_(0.2)Te标定为Gμm/h。HgCdTe薄膜为n型,在液氮温度下测得Hg_(0.85)Cd_(0.15)Te的迁移率为140 OOOcm~2/Vs。CdTe-HgCdTe异质结处的相互扩散宽度标定为1μm。 |
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