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| 影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题 | |
| 引用本文： | 孙振路,张平伟,吴晓波,胡红彦,刘秀军.影响CVD金刚石膜完整性的几个关键问题[J].超硬材料工程,2008,20(4). |
| 作者姓名： | 孙振路 张平伟 吴晓波 胡红彦 刘秀军 |
| 作者单位： | 河北省激光研究所,河北,石家庄,050081 |
| 摘 要： | 直流喷射化学气相沉积金刚石膜,其完整性一直是个难以解决的技术难题,并且直接影响了其推广应用.文章通过研究金刚石膜的质量、衬底与膜的结合力、以及衬底的膨胀系数等,分析了影响金刚石膜完整性的几个关键因素. |
| 关 键 词： | CVD金刚石膜 完整性 膨胀系数 |
Some key issues about the affection on the integrity of CVD diamond film |
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| Authors: | SUN Zhen-lu ZHANG Ping-wei WU Xiao-bo HU Hong-yan LIU Xiu-jun |
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