非接触步距规校准装置的自动瞄准技术

文章介绍了步距规的工作原理,分析了接触式方法进行步距规校准的局限性,阐述了采用光电瞄准非接触方式校准步距规的新技术,并应用该技术,结合激光干涉技术和二级复合驱动定位技术,发明了非接触测量法步距规校准装置,实现了高准确度的步距规校准。文章将对步距规校准技术的发展起到积极的推动作用。